本身AMAT TEL LAM甚至ULVAC都耕耘多少年了，包括上世纪的P5000机型都还那么流行[受虐滑稽]不过现在 也都开始国产化了，FAB、厂商都干过，国外机台也一样不怎么省心，但是国产机台服务态度好，像ULVAC这种日厂贼墨迹。现在外延、刻蚀、CVD、RTP、注入啥的都有算做的不错的了。中芯也开始替换老旧换国产了（6/8寸）
