微观尽头——光刻技术简介(终)

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穗月红叶   
这篇文章居然大结局了,可是光刻机还没造出来呢,怎么能大结局呢?[疑问]
华彩Hi36C0
OP
  
期待国产和华为能有一天从各种意义上“遥遥领先”吧
起風了0171   
参考文献:
韦亚一,超大规模集成电路光刻技术与应用
Fomenkov I,Partlo W,Birx D,characterization of a 13.5nm source for EUV lithography based on a dense plasma focus and lithium emission
Kemp K,Wurm S,EUV lithography
K Murakami,T Oshino,development of euv lithography tools at Nikon
bunihe   
你字多[强]
kinghun   
看来只要小尾巴正确,评论区就会是一片祥和[受虐滑稽]
太白狗   
建议把,光刻技术的几篇文章链接,一起放到文末,好找到。
天方破晓   
我不懂,但是我觉得b站的一个up应该比你懂一些,所以发给你看一下[嘿哈]https://www.bilibili.com/video/BV1W94y1s7pq
是苏苏   
好多看不懂,但直觉好文[受虐滑稽]
小雨my   
太棒了,看得我嘎嘎爽[受虐滑稽]
Slokai   
[受虐滑稽]受教了
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