微观尽头——光刻技术简介（终）

穗月红叶 2023-9-17 00:09:14

这篇文章居然大结局了，可是光刻机还没造出来呢，怎么能大结局呢？[疑问]

华彩Hi36C0

OP

2023-9-17 00:09:53

期待国产和华为能有一天从各种意义上“遥遥领先”吧

起風了0171 2023-9-17 00:10:27

参考文献：
韦亚一，超大规模集成电路光刻技术与应用
Fomenkov I，Partlo W，Birx D，characterization of a 13.5nm source for EUV lithography based on a dense plasma focus and lithium emission
Kemp K，Wurm S，EUV lithography
K Murakami，T Oshino，development of euv lithography tools at Nikon

bunihe 2023-9-17 00:11:09

你字多[强]

kinghun 2023-9-17 00:12:04

看来只要小尾巴正确，评论区就会是一片祥和[受虐滑稽]

太白狗 2023-9-17 00:12:57

建议把，光刻技术的几篇文章链接，一起放到文末，好找到。

天方破晓 2023-9-17 00:13:50

我不懂，但是我觉得b站的一个up应该比你懂一些，所以发给你看一下[嘿哈]https://www.bilibili.com/video/BV1W94y1s7pq

是苏苏 2023-9-17 00:14:43

好多看不懂，但直觉好文[受虐滑稽]

小雨my 2023-9-17 00:15:17

太棒了，看得我嘎嘎爽[受虐滑稽]

Slokai 2023-9-17 00:15:56

[受虐滑稽]受教了

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