听说是采用大力飞砖的模式解决了光源问题。 别人小型化的EUV光源运输起来很方便，因为他要卖出去，所以这是必选项。 结果CN这帮人直接不考虑运输，原地建对撞机当光源，建好了不能移动，不过他们说一台对撞机可以同时给几台光刻机提供光源。 光源, 这是, 光刻
